Стадия XY обеспечивает высокую скорость и разрешение 10 нм

Новости

Стадия XY обеспечивает высокую скорость и разрешение 10 нм

Новый интегрированный столик XY — часть его компактного набора высокоскоростных столиков позиционирования.

Все эти этапы позиционирования приводятся в действие ультразвуковыми пьезолинейными двигателями — запатентованными двигателями, которые обеспечивают плавное движение, высокое разрешение и быструю реакцию на шаг и стабилизацию.

 

EMSLM-120X100-INXY-E50 Перевернутый микроскоп с линейным двигателем Stage1

В двигателях также используется самозажимной привод для блокировки платформы на месте без питания, что полезно в приложениях, где важны стабильность положения и низкое энергопотребление.
Длинный ход и компактная конструкция дополняют широкий динамический диапазон
Столик ELMTMINI XY обеспечивает перемещение 0,8 дюйма по оси при занимаемой площади 42 x 42 мм (1,6 x 1,6 дюйма).Его низкий профиль (21 мм) и миниатюрный дизайн позволяют легко интегрировать его в труднодоступные места.В дополнение к высокому разрешению (линейные энкодеры 10 нанометров) он обеспечивает высокую скорость перемещения до 200 мм/сек и быструю ступенчатую стабилизацию.

Высококачественные контроллеры движения и программный пакет
Чтобы воспользоваться принципом работы, обеспечивающим превосходные динамические характеристики с временем установления в миллисекундном диапазоне при сохранении высокого разрешения и плавной работы, ультразвуковые двигатели используют передовые стратегии управления, такие как автоматическое переключение между несколькими статическими и динамическими наборами параметров ПИД-регулятора и адаптивная частота. отслеживание.PI предлагает ряд ультразвуковых контроллеров движения (доступны в настольных, стоечных и OEM-конфигурациях. Микросхема ASIC, содержащая алгоритмы управления движением, также доступна для OEM-клиентов. Включен комплексный пакет программного обеспечения: драйверы и примеры программ для LabVIEW, Доступны динамические библиотеки для Windows и Linux, MATLAB Интерфейсы включают TCP/IP, USB, RS-232 и аналоговые.
Технические характеристики семейства ультразвуковых мини-линейных столиков
L


Время публикации: 12 апреля 2023 г.