Новая конструкция предметного столика XY позволяет оптимизировать критически важные элементы, такие как ортогональность, прямолинейность и плоскостность, в результате чего предметный столик имеет исключительные геометрические допуски.Технология прямого привода с линейными серводвигателями без сердечника не имеет гистерезиса или люфта, обеспечивая точные и воспроизводимые движения нанометрового масштаба в обоих направлениях X и Y.
Технология бесконтактного прямого привода обеспечивает надежное, точное и высокоскоростное позиционирование, необходимое для массового производства прецизионных устройств.Эти этапы XY используют передовую технологию прямого привода для достижения высочайшего уровня производительности позиционирования.Точное позиционирование обеспечивается бесконтактным датчиком линейных перемещений.Двигатель и энкодеры соединены напрямую для устранения люфта.
Особенности включают
★Линейные двигатели с прямым приводом
★Разрешение до 0,1 мкм
★Повторяемость до 0,25 мкм
★Абсолютная точность до 5 мкм
★Максимальная скорость 1,5 м/с
★Максимальное ускорение 1,5 G
★Рабочий ход 300 х 300 мм
Комбинация привода и подшипника, имеющая небольшой профиль и занимаемую площадь, обеспечивает ощутимые преимущества во многих областях применения, таких как высокоточное позиционирование, изготовление дисководов, выравнивание волокон, срабатывание оптических элементов задержки, тестирование датчиков и процессы сканирования, требующие плавности и надежности. точное движение.Ступени также можно комбинировать с другими вертикальными и ротационными стадиями.
Время публикации: 05 февраля 2023 г.