Спецификация | ЛМТ-XY-200X200 | ABVT-Z20 (рейка на воздушном подшипнике) |
Тип двигателя | Трехфазный безжелезный двигатель | Двигатель звуковой катушки+ |
Разрешение | Цифровое количество 100 нм по умолчанию | 1vpp до 5 нм |
Тяга двигателя | Непрерывная 60 Н/пик 210 Н | Непрерывная 60 Н/пик 210 Н |
Минимальный размер шага [нм] | 200нм | 100 нм |
Ход [мм] | 200×200 | 10 |
Повторяемость [мкм] | ±0,3 | |
Точность позиционирования [мкм] | ±1 | ±0,5 |
Плоскостность [ум] | 10 мкм | 5 мкм |
Прямолинейность [ум] | 1 мкм | 1 мкм |
Максимальная скорость [мм/с] | 500 мм/с | 30 мм/с |
Грузоподъемность [кг] | 5 кг (ось Z с пневматическим балансировочным грузом с постоянной силой) |