FSM используют подложки из металла (алюминия или бериллия) или карбида кремния в зависимости от конкретных требований приложения.Мы можем предоставить зеркала практически с любыми требованиями к покрытию: от основных металлических покрытий до диэлектрических покрытий с высокой отражательной способностью, предназначенных для применения в лазерах высокой энергии (HEL).BlueHalo FSM обеспечивают высокое ускорение;>10 000 радиан/сек2 для FSM класса 1–2 дюйма.Наши FSM обеспечивают высокую пропускную способность (> 1 кГц в оптическом или позиционном диапазоне, в зависимости от размера) и обеспечивают низкий джиттер <1 мкрад.
Размер зеркала | 4 дюйма | 6 дюймов | 8 дюймов | 10 дюймов | > 10 дюймов | 4 дюйма | 6 дюймов | 8 дюймов | 10 дюймов | > 10 дюймов |
Разрешение | 1~3 мкрад | 3~5мкрад | 1~3 мкрад | |||||||
Полоса пропускания с обратной связью | 100~300 Гц(при 1% хода) | 10 ~ 200 Гц (при 1% хода) | ||||||||
Ступенчатая реакция | 4~10 мс(при 1% хода) | 3 ~ 30 мс (при 1% хода) | ||||||||
Угловой диапазон | ≤ ±25 мрад | |||||||||
Повторяемость | ≤±5 мкрад | ≤±3 ~ ±10 мкрад | ||||||||
Рабочая Температура | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||||||||
Температура хранения (℃) | -55℃ ~ 85℃ | |||||||||
антивибрационный | ГДЖБ 150.16А-2009 | |||||||||
Противоударный | ГДЖБ 150.18А-2009 |